FILTR VAKUOVÉHO VÝVĚSKU LVGE

„LVGE řeší vaše starosti s filtrací“

OEM/ODM filtrů
pro 26 velkých výrobců vakuových čerpadel po celém světě

产品中心

zprávy

Filtry vakuových čerpadel používané v polovodičovém průmyslu

Kolik toho víte o rozvíjejícím se high-tech odvětví – polovodičovém průmyslu? Polovodičový průmysl patří do odvětví elektronických informací a je důležitou součástí hardwarového průmyslu. Vyrábí a zpracovává především polovodičové součástky, včetně integrovaných obvodů, diod a tranzistorů atd. Výrobní proces polovodičů také využívá vakuovou technologii, proto jsou potřeba také vakuové pumpy a filtry.

Vakuové prostředí může výrazně zabránit znečištění obrobku nečistotami a částicemi ve vzduchu, což je klíčové pro kvalitu čipů a dalších elektronických součástek. Tyto částice však mohou být nasávány do vakuové pumpy a následně ji poškodit. To nejen poškozuje zařízení, ale také ovlivňuje kvalitu výrobku. Proto je nutné nainstalovat filtr vakuové pumpy.vstupní filtr) k ochraně vakuového čerpadla.

Musíme zvolit vhodné specifikace filtru na základě velikosti částic. To znamená jemnost filtrace. Kromě toho se v procesech výroby polovodičů používají různé plyny pro různé účely, jako je leptání a nanášení. Tyto plyny mohou být korozivní, proto je také nezbytné zvolit filtrační médium odolné proti korozi. Pokud plyn není vysoce korozivní a částice jsou relativně malé, lze zvážit polyesterová vlákna. Pokud jsou vysoce korozivní, lze zvážit filtrační prvky vyrobené z nerezové oceli 304 nebo dokonce nerezové oceli 316, ale jejich jemnost je relativně nízká.

Výše uvedený obrázek ukazuje sací filtr, který dodáváme pro suchou šroubovou vývěvu výrobce polovodičů.LVGEpostupně získala v Číně věhlas. Spolupracovali jsme s 26 výrobci vakuových čerpadel po celém světě, jako je ULVAC JANPAN, a sloužili jsme mnoha společnostem z žebříčku Fortune 500, jako je BYD. Jsme také v kontaktu se stále větším počtem průmyslových odvětví, ale vždy sloužíme oblasti vakua, zejména filtraci pomocí vakuových čerpadel.


Čas zveřejnění: 15. dubna 2024