Was ist Vakuumbeschichtung?
Vakuumbeschichtung ist eine fortschrittliche Technologie, bei der funktionale Dünnschichten durch physikalische oder chemische Verfahren in einer Vakuumumgebung auf der Oberfläche von Substraten abgeschieden werden. Ihr Kernwert liegt in hoher Reinheit, hoher Präzision und Umweltschutz. Sie wird häufig in der Optik, Elektronik, Werkzeugindustrie, neuen Energien und anderen Bereichen eingesetzt.
Muss die Vakuumbeschichtungsanlage mit Einlassfiltern ausgestattet sein?
Lassen Sie uns zunächst herausfinden, welche Schadstoffe bei der Vakuumbeschichtung häufig vorkommen. Beispielsweise Partikel, Staub, Öldampf, Wasserdampf usw. Wenn diese Schadstoffe in die Beschichtungskammer gelangen, verringert sich die Abscheidungsrate, die Filmschicht wird ungleichmäßig und es kann sogar zu Schäden an der Anlage kommen.
Die Situation, in der Vakuumbeschichtung Einlassfilter erfordert
- Während des Beschichtungsprozesses spritzt das Zielmaterial Partikel.
- Insbesondere im Bereich der Optik und Halbleiter sind die Reinheitsanforderungen an die Filmschicht hoch.
- Es gibt korrosive Gase (die beim reaktiven Sputtern leicht entstehen). In diesem Fall wird der Filter hauptsächlich zum Schutz der Vakuumpumpe installiert.
Die Situation, in der bei der Vakuumbeschichtung keine Einlassfilter erforderlich sind
- Viele Anbieter von Vakuumbeschichtungsdienstleistungen verwenden ein völlig ölfreies Hochvakuumsystem (z. B. Molekularpumpe + Ionenpumpe) und die Arbeitsumgebung ist sauber. Daher sind keine Einlassfilter oder sogar Auslassfilter erforderlich.
- Es gibt noch eine weitere Situation, in der keine Einlassfilter erforderlich sind, d. h., die Reinheitsanforderungen an die Filmschicht sind nicht hoch, beispielsweise bei einigen dekorativen Beschichtungen.
Andere über Öldiffusionspumpe
- Bei Verwendung einer Ölpumpe oder ÖldiffusionspumpeAbluftfiltermuss installiert sein.
- Polymerfilterelement ist nicht beständig gegen die hohen Temperaturen der Diffusionspumpe
- Bei Verwendung einer Öldiffusionspumpe kann das Pumpenöl zurückfließen und die Beschichtungskammer verunreinigen. Daher ist eine Kühlfalle oder ein Ölleitblech erforderlich, um Unfälle zu verhindern.
Abschließend, ob das Vakuumbeschichtungssystem benötigtEinlassfilterhängt von den Prozessanforderungen, der Systemkonstruktion und dem Kontaminationsrisiko ab.
Veröffentlichungszeit: 19. April 2025
