Wie viel wissen Sie über die boomende aufstrebende High-Tech-Industrie – die Halbleiterindustrie? Die Halbleiterindustrie gehört zur elektronischen Informationsindustrie und ist ein wichtiger Bestandteil der Hardwareindustrie. Das Unternehmen produziert und fertigt hauptsächlich Halbleiterbauelemente, einschließlich integrierter Schaltkreise, Dioden und Transistoren usw. Der Produktionsprozess von Halbleitern nutzt auch Vakuumtechnologie, daher werden auch Vakuumpumpen und Filter benötigt.
Die Vakuumumgebung kann weitgehend verhindern, dass Verunreinigungen und Partikel in der Luft das Werkstück verunreinigen, was für die Qualität von Chips und anderen elektronischen Bauteilen von entscheidender Bedeutung ist. Diese Partikel können jedoch in die Vakuumpumpe gesaugt werden und diese beschädigen. Dies schadet nicht nur der Ausrüstung, sondern beeinträchtigt auch die Produktqualität. Daher ist es notwendig, einen Vakuumpumpenfilter zu installieren(Einlassfilter), um die Vakuumpumpe zu schützen.
Wir müssen die geeigneten Filterspezifikationen basierend auf der Größe der Partikel auswählen. Es bedeutet Filterfeinheit. Darüber hinaus werden in Halbleiterherstellungsprozessen verschiedene Gase für unterschiedliche Zwecke wie Ätzen und Abscheiden verwendet. Diese Gase können korrosiv sein, daher ist es auch wichtig, ein korrosionsbeständiges Filtermedium zu wählen. Wenn das Gas nicht stark korrosiv ist und die Partikel relativ klein sind, können Polyesterfasern in Betracht gezogen werden. Wenn es stark korrosiv ist, kommen Filterelemente aus Edelstahl 304 oder sogar Edelstahl 316 in Frage, deren Feinheit jedoch relativ gering ist.
Das obige Bild zeigt den Ansaugfilter, den wir für die trockene Schraubenvakuumpumpe eines Halbleiterherstellers liefern.LVGEhat in China nach und nach Berühmtheit erlangt. Wir haben mit 26 Vakuumpumpenherstellern weltweit wie ULVAC JANPAN zusammengearbeitet und für viele Fortune-500-Unternehmen wie BYD gedient. Wir stehen auch mit immer mehr Branchen in Kontakt, bedienen aber stets den Vakuumbereich, insbesondere die Vakuumpumpenfiltration.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 15. April 2024