Wie gut kennen Sie die boomende, aufstrebende Hightech-Branche – die Halbleiterindustrie? Die Halbleiterindustrie gehört zur elektronischen Informationsindustrie und ist ein wichtiger Bestandteil der Hardwareindustrie. Sie produziert und fertigt hauptsächlich Halbleiterbauelemente, darunter integrierte Schaltkreise, Dioden und Transistoren. Auch bei der Herstellung von Halbleitern kommt Vakuumtechnologie zum Einsatz, weshalb Vakuumpumpen und Filter benötigt werden.
Die Vakuumumgebung kann weitgehend verhindern, dass Verunreinigungen und Partikel in der Luft das Werkstück verunreinigen, was für die Qualität von Chips und anderen elektronischen Bauteilen entscheidend ist. Diese Partikel können jedoch in die Vakuumpumpe gesaugt werden und diese beschädigen. Dies beschädigt nicht nur die Anlage, sondern beeinträchtigt auch die Produktqualität. Daher ist die Installation eines Vakuumpumpenfilters erforderlich.Einlassfilter) zum Schutz der Vakuumpumpe.
Wir müssen die geeigneten Filterspezifikationen basierend auf der Partikelgröße auswählen. Das bedeutet Filterfeinheit. Darüber hinaus werden in der Halbleiterherstellung verschiedene Gase für unterschiedliche Zwecke wie Ätzen und Abscheiden verwendet. Diese Gase können korrosiv sein, daher ist die Wahl eines korrosionsbeständigen Filtermediums unerlässlich. Bei nicht stark korrosiven Gasen und relativ kleinen Partikeln können Polyesterfasern in Betracht gezogen werden. Bei stark korrosiven Gasen können Filterelemente aus Edelstahl 304 oder sogar Edelstahl 316 in Betracht gezogen werden, deren Filterfeinheit jedoch relativ gering ist.
Das obige Bild zeigt den Ansaugfilter, den wir für die trockene Schraubenvakuumpumpe eines Halbleiterherstellers liefern.LVGEhat in China allmählich an Bekanntheit gewonnen. Wir haben weltweit mit 26 Vakuumpumpenherstellern wie ULVAC JANPAN zusammengearbeitet und viele Fortune-500-Unternehmen wie BYD beliefert. Wir stehen auch mit immer mehr Branchen in Kontakt, bedienen aber stets den Vakuumbereich, insbesondere die Vakuumpumpenfiltration.
Veröffentlichungszeit: 15. April 2024
