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Vakuumpumpenfilter in der Halbleiterindustrie angewendet

Wie viel wissen Sie über die boomende aufstrebende High -Tech -Branche - die Halbleiterindustrie? Die Halbleiterindustrie gehört zur elektronischen Informationsindustrie und ist ein wichtiger Bestandteil der Hardwareindustrie. Es produziert und produziert hauptsächlich Halbleitergeräte, einschließlich integrierter Schaltkreise, Dioden und Transistoren usw. Der Produktionsprozess von Halbleitern verwendet auch Vakuumtechnologie. Daher werden auch Vakuumpumpen und Filter benötigt.

Die Vakuumumgebung kann stark verhindern, dass Verunreinigungen und Partikel in der Luft das Werkstück verschmutzen, was für die Qualität von Chips und anderen elektronischen Komponenten von entscheidender Bedeutung ist. Diese Partikel können jedoch in die Vakuumpumpe gesaugt werden und sie dann beschädigen. Dies schädigt nicht nur die Ausrüstung, sondern wirkt sich auch auf die Produktqualität aus. Daher ist es erforderlich, einen Vakuumpumpenfilter zu installieren (Einlassfilter) zum Schutz der Vakuumpumpe.

Wir müssen die entsprechenden Filterspezifikationen basierend auf der Größe der Partikel auswählen. Es bedeutet, Feinheit zu filtern. Darüber hinaus werden bei Halbleiterherstellungsprozesse verschiedene Gase für verschiedene Zwecke wie Ätzen und Ablagerung verwendet. Diese Gase können ätzend sein, daher ist es auch wichtig, korrosionsbeständiges Filtermedium zu wählen. Wenn das Gas nicht stark ätzend ist und die Partikel relativ klein sind, kann Polyesterfaser berücksichtigt werden. Wenn es sehr korrosiv ist, können Filterelemente aus Edelstahl 304 oder sogar Edelstahl 316 berücksichtigt werden, aber ihre Feinheit ist relativ niedrig.

Das obige Bild zeigt den Einlassfilter, den wir für die Trockenschrauben -Vakuumpumpe eines Halbleiterherstellers anbieten.Lvgehat in China nach und nach Ruhm erlangt. Wir haben weltweit mit 26 Vakuumpumpenherstellern wie Ulvac Janpan zusammengearbeitet und für viele Unternehmen des Fortune 500 wie BYD gedient. Wir sind auch in Kontakt mit mehr und mehr Branchen, aber immer das Vakuumfeld, insbesondere die Vakuumpumpenfiltration.


Postzeit: Apr-15-2024