Pooljuhtide tööstuses kasutatavad vaakumpumba filtrid

Kui palju te teate kiiresti arenevast kõrgtehnoloogilisest tööstusharust – pooljuhtide tööstusest? Pooljuhtide tööstus kuulub elektroonilise infotehnoloogia tööstusse ja on riistvaratööstuse oluline komponent. See toodab ja valmistab peamiselt pooljuhtseadmeid, sealhulgas integraallülitusi, dioode ja transistore jne. Pooljuhtide tootmisprotsessis kasutatakse samuti vaakumtehnoloogiat, seega on vaja ka vaakumpumpasid ja filtreid.

Vaakumkeskkond aitab oluliselt vältida õhus leiduvate lisandite ja osakeste sattumist töödeldavale detailile, mis on kiipide ja muude elektroonikakomponentide kvaliteedi seisukohalt ülioluline. Vaakumpump võib aga need osakesed imeda ja seda kahjustada. See mitte ainult ei kahjusta seadet, vaid mõjutab ka toote kvaliteeti. Seetõttu on vaja paigaldada vaakumpumba filter (sisselaskefilter) vaakumpumba kaitsmiseks.