اصل جداکننده غبار روغن پمپ خلاء بر اساس خواص فیزیکی روغن و هوا است.همانطور که پمپ خلاء کار می کند، خلاء در سیستم ایجاد می کند و باعث می شود هوا و هر گاز دیگری که وجود دارد به داخل کشیده شود. فرآیند ایجاد خلاء همچنین می تواند غبار روغن ریز ایجاد کند، زیرا روغن روان کننده مورد استفاده در پمپ خلاء اتمیزه می شود. و همراه با جریان هوا حمل می شود.

جداکننده غبار روغن با استفاده از یک سری فیلترها و بافل ها برای جدا کردن غبار روغن از هوا کار می کند.این فیلترها به گونه ای طراحی شده اند که قطرات روغن را جمع آوری کرده و با هم ترکیب می کنند و اجازه می دهند روغن جدا شده جمع آوری شده و برای استفاده مجدد به پمپ خلاء بازگردانده شود.سپس هوای تمیز و خشک بدون آلودگی مه روغن به محیط خارج می شود.