Qu'est-ce que le revêtement sous vide ?
Le revêtement sous vide est une technologie avancée qui permet de déposer des couches minces fonctionnelles à la surface de substrats par des méthodes physiques ou chimiques sous vide. Ses atouts principaux résident dans sa grande pureté, sa haute précision et son respect de l'environnement. Il est largement utilisé dans l'optique, l'électronique, l'outillage, les nouvelles énergies et d'autres domaines.
Le système de revêtement sous vide doit-il être équipé de filtres d'entrée ?
Tout d'abord, examinons les polluants courants lors du revêtement sous vide. Par exemple, les particules, la poussière, la vapeur d'huile, la vapeur d'eau, etc. La pénétration de ces polluants dans la chambre de revêtement peut entraîner une diminution du taux de dépôt, une irrégularité de la couche de film et même endommager l'équipement.
La situation dans laquelle le revêtement sous vide nécessite des filtres d'entrée
- Pendant le processus de revêtement, le matériau cible éclabousse des particules.
- L'exigence de pureté de la couche de film est élevée, en particulier dans les domaines de l'optique et des semi-conducteurs.
- Il existe des gaz corrosifs (facilement produits lors de la pulvérisation réactive). Dans ce cas, le filtre est installé principalement pour protéger la pompe à vide.
La situation dans laquelle le revêtement sous vide ne nécessite pas de filtres d'entrée
- De nombreux prestataires de services de revêtement sous vide utilisent un système de vide poussé entièrement sans huile (comme une pompe moléculaire et une pompe ionique), et l'environnement de travail est propre. Par conséquent, aucun filtre d'admission, ni même de sortie, n'est nécessaire.
- Il existe une autre situation dans laquelle les filtres d'entrée ne sont pas nécessaires, c'est-à-dire que l'exigence de pureté de la couche de film n'est pas élevée, comme pour certains revêtements décoratifs.
Autres informations sur la pompe à diffusion d'huile
- Si une pompe à huile ou une pompe à diffusion d'huile est utilisée,filtre d'échappementdoit être installé.
- L'élément filtrant en polymère ne résiste pas à la température élevée de la pompe à diffusion
- Lors de l'utilisation d'une pompe à diffusion d'huile, l'huile peut refluer et contaminer la chambre de revêtement. Un piège à froid ou un déflecteur d'huile est donc nécessaire pour éviter tout accident.
En conclusion, si le système de revêtement sous vide a besoinfiltres d'admissiondépend des exigences du processus, de la conception du système et du risque de contamination.
Date de publication : 19 avril 2025
