チラーを介したガス液液分離器冷却

lvge ref：Law-521z

該当するフロー：≦100m³/h

インレットとアウトレット：KF25

適用される温度：INLETポートの温度<200℃

関数：

ファンまたは真空ポンプの排気ポートに設置されているため、ThegasのLiauidを分離して収集できます。そのため、チャンバーがliguidを吸い取らないようにしたり、真空ポンプオイルが発生したりするのを防ぐことができます。