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チラーによる気液分離器の冷却

LVGE参照:LAW-521Z

適用可能なフロー:≦100m3/h

入口と出口:KF25

適用温度:入口ポートの温度<200℃

関数:

ファンや真空ポンプの排気口に設置することで、ガス中の液体を分離・回収することができます。これにより、チャンバーへの液体の吸引や真空ポンプオイルの汚染を防ぐことができます。


  • :
  • 製品詳細

    製品タグ

    気液分離器

    動作原理:

    • 高温ガスは特殊スパイラルパイプ内を上から下へ流れ、その過程で冷却液と熱交換を起こします。これによりガスは急速に冷却され、蒸発した水は凝縮して水滴となります。スパイラルパイプと液体貯蔵タンクは分離されているため、最終的に水は重力によって液体貯蔵タンクに滴り落ち、ガスはパイプから出て上方に浮上します。

    説明:

    • 1.304ステンレス鋼製。
    • 2. 必要に応じてインターフェースのサイズをカスタマイズできます。
    • 3.作業条件に応じて異なる出力のチラーを選択できます。

    ガス液分離器の詳細写真

    気液分離器
    気液分離器

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