低真空用気液分離器

LVGE 参照:LAW-501

適用フロー:100m以下³/h

入口と出口:KF25

濾過効率:液体の場合 >90%

関数：

ファンや真空ポンプの排気口に設置し、ガス中のリギジンを分離回収します。そのため、チャンバーへの液体の吸い込みや真空ポンプオイルの汚染を防ぐことができます。