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製品

低真空用気液分離器

LVGE参照:法律501

適用可能なフロー:≦100m3/h

入口と出口:KF25

ろ過効率:液体の場合90%以上

関数:

ファンや真空ポンプの排気口に設置することで、液体とガスを分離・回収することができます。これにより、チャンバーへの液体の吸い込みや真空ポンプオイルの汚染を防ぐことができます。


製品詳細

製品タグ

気液分離器

動作原理:

  • 特殊な螺旋管内をガスは高速で上から下へ流れます。水は遠心力の作用で管の外側を流れ、ガスは内側を流れます。螺旋管と貯液タンクが分離されると、最終的に水は重力によって貯液タンクに滴り落ち、ガスは管から出て上方に浮上します。

説明:

  • 1.304ステンレス鋼製。
  • 2. フィルター エレメントは PET 製または 304 ステンレス鋼製から選択できます。
  • 3. 必要に応じてインターフェースのサイズをカスタマイズできます。
  • 4. 必要に応じてブラケットをカスタマイズできます。

製品詳細画像

気液分離器
気液分離器

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