低真空のためのガス液分離器

lvge ref：Law-501

該当するフロー：≦100m³/h

インレットとアウトレット：KF25

ろ過効率：液体で90％> 90％

関数：

ファンまたは真空ポンプの排気ポートに設置されているため、ガスを分離して収集できます。そのため、チャンバーが液体を吸い取らないようにしたり、真空ポンプオイルが汚染を防ぐことができます。