真空炉
真空炉は、真空システムを用いて炉室内の空気を排出することで真空状態を実現します。真空炉は、真空焼入れ、真空ろう付け、真空焼結など、工業生産において幅広い用途に使用されています。
- 真空焼入れ（焼戻し、焼きなまし）とは、真空中で材料や部品を工程手順に従って加熱・冷却することで、期待される性能を得る処理方法です。
- 真空ろう付けとは、溶接部品群を、ろう材の融点以上かつ母材の融点以下の温度に加熱する溶接技術を指します。真空下でろう材が母材に濡れて流れ込むことで、溶接部が形成されます（ろう付け温度は材料によって異なります）。
- 真空焼結は、金属粉末製品を真空状態で加熱し、隣接する金属粉末粒子を接着と拡散によって部品に焼結させる方法です。
真空炉は、その技術の違いにより、真空ろう付け炉、真空焼入れ炉、真空焼結炉、真空浸炭炉など、様々な種類に分類されます。例えば、真空焼結炉は主に半導体部品の焼結工程に用いられ、真空焼結、ガス保護焼結、従来焼結など様々な焼結方法に対応しています。これは、半導体装置シリーズにおける斬新なプロセス設備であり、斬新な設計コンセプト、操作の簡便さ、コンパクトな構造を特徴としており、単一の装置で複数のプロセスフローを完了することができます。
投稿日時: 2023年9月9日
