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真空炉

  真空炉

真空炉は、真空システムを利用して炉室内の空気を排気することで真空を実現します。真空炉は、真空焼入れ、真空ろう付け、真空焼結など、工業生産において幅広い用途に使用されます。

  • 真空焼入れ(焼き戻し、焼きなまし)とは、材料や部品を真空中で所定の手順に従って加熱・冷却することにより、期待される性能を得る処理方法です。
  • 真空ろう付けとは、溶接された部品のグループを、溶加材の融点よりも高いが母材の融点よりも低い温度まで加熱する溶接技術を指します。そして真空下でろう材が母材金属に濡れて流れることで溶接が形成されます(ろう付け温度は材質によって異なります)。
  • 真空焼結は、金属粉末製品を真空下で加熱する方法で、隣接する金属粉末粒子が付着と拡散によって焼結されて部品が形成されます。

さまざまな技術に応じて、真空炉は、真空ろう付け炉、真空焼入れ炉、真空焼結炉、真空浸炭炉などのさまざまなタイプに分類されます。たとえば、真空焼結炉は主に半導体部品の焼結プロセスに使用されます。真空焼結、ガス保護焼結、通常焼結に使用できます。半導体製造装置シリーズの新しいプロセス装置です。斬新な設計コンセプト、便利な操作性、コンパクトな構造を備えており、単一のデバイスで複数のプロセス フローを完了できます。

真空炉の最大の利点は、加熱工程におけるワーク表面の酸化・脱炭を完全に除去し、変質層のない清浄な表面が得られることです。真空炉では真空にするために真空ポンプを使用するのが一般的であり、真空ポンプ用フィルターも必須です。真空炉の使用環境に必要なものフィルター良好な高温耐性を有すること。

   LVGEは、10 年以上真空技術分野に携わっており、真空技術がますます広く応用できることをうれしく思っています。


投稿時間: 2023 年 9 月 9 日