急成長を遂げている新興ハイテク産業、半導体産業について、どれくらいご存知ですか？半導体産業は電子情報産業に属し、ハードウェア産業の重要な構成要素です。主に集積回路、ダイオード、トランジスタなどの半導体デバイスを製造しています。半導体の製造プロセスでは真空技術も利用されるため、真空ポンプやフィルターも必要です。
真空環境は、空気中の不純物や粒子によるワークピースの汚染を大幅に防ぎ、チップやその他の電子部品の品質にとって非常に重要です。しかし、これらの粒子が真空ポンプに吸い込まれ、損傷を与える可能性があります。これは装置を損傷するだけでなく、製品の品質にも影響を与えます。そのため、真空ポンプフィルターを設置する必要があります。入口フィルター）真空ポンプを保護します。
粒子の大きさに応じて適切なフィルター仕様を選択する必要があります。つまり、ろ過の細かさが重要です。さらに、半導体製造プロセスでは、エッチングやデポジションなど、様々な用途で様々なガスが使用されます。これらのガスは腐食性を持つ場合があるため、耐腐食性のあるろ材を選択することも不可欠です。ガスの腐食性がそれほど高くなく、粒子が比較的小さい場合は、ポリエステル繊維が適しています。腐食性が高い場合は、ステンレス鋼304やステンレス鋼316製のフィルターエレメントが適していますが、その細かさは比較的低くなります。
上の写真は半導体メーカーのドライスクリュー真空ポンプに当社が納入している吸気フィルタです。LVGE中国で徐々に知名度を高めてきました。ULVAC JANPANをはじめとする世界26社の真空ポンプメーカーと提携し、BYDをはじめとするフォーチュン500企業の多くにもサービスを提供しています。また、より多くの業界とのつながりを築いていますが、常に真空分野、特に真空ポンプのろ過に尽力しています。
投稿日時: 2024年4月15日
