急成長を遂げている新興ハイテク産業、半導体産業についてどれくらい知っていますか?半導体産業は電子情報産業に属し、ハードウェア産業の重要な構成要素です。主に集積回路、ダイオード、トランジスタなどの半導体デバイスの製造・製造を行っています。半導体の製造プロセスでは真空技術も利用されており、真空ポンプや真空フィルターも必要となります。
真空環境は、空気中の不純物や粒子によるワークピースの汚染を大幅に防ぐことができ、これはチップやその他の電子部品の品質にとって非常に重要です。ただし、これらの粒子は真空ポンプに吸い込まれ、真空ポンプを損傷する可能性があります。これは機器に損傷を与えるだけでなく、製品の品質にも影響します。そのため、真空ポンプフィルターを設置する必要があります(入口フィルター) 真空ポンプを保護します。
粒子のサイズに基づいて適切なフィルター仕様を選択する必要があります。それは濾過の細かさを意味します。また、半導体の製造プロセスでは、エッチングや成膜など目的に応じてさまざまなガスが使用されます。これらのガスは腐食性である可能性があるため、耐腐食性のフィルター媒体を選択することも重要です。ガスの腐食性が高くなく、粒子が比較的小さい場合は、ポリエステル繊維を検討できます。腐食性が高い場合は、ステンレス鋼 304 またはステンレス鋼 316 で作られたフィルターエレメントも検討できますが、その緻密さは比較的低いです。
上の写真は当社が半導体メーカーのドライスクリュー真空ポンプに供給している吸気フィルタです。LVGE中国でも徐々に名声を高めてきました。当社はアルバックジャパンなど世界中の真空ポンプメーカー26社と提携しており、BYDなどフォーチュン500企業の多くにサービスを提供しています。また、当社はますます多くの業界と提携していますが、常に真空分野、特に真空ポンプ濾過にサービスを提供しています。
投稿日時: 2024 年 4 月 15 日