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ルーツポンプに高精細度フィルターを取り付けることが推奨されないのはなぜですか?

真空に対する要求が高いユーザーは、ルーツポンプに精通している必要があります。ルーツポンプは、より高い真空度を実現するために、機械式ポンプと組み合わせてポンプグループを形成することがよくあります。ポンプグループでは、ルーツポンプの排気速度は機械式ポンプよりも速くなります。例えば、排気速度が70L/sの機械式真空ポンプには、排気速度が300L/sのルーツポンプを組み合わせる必要があります。これはなぜでしょうか?これは、ポンプグループの操作に関係しています。

ポンプ群では、まず機械式真空ポンプが真空引きを行い、次にルーツポンプが真空引きを行います。真空引きの過程で、キャビティ内の空気は次第に薄くなり、真空ポンプの真空引きが困難になります。機械式ポンプがある程度まで真空引きすると、それ以上真空引きを続けることができなくなり、より高い真空度を達成できなくなります。このとき、排気速度の速いルーツポンプが真空引きを開始し、より高い真空度を達成します。高細孔フィルタエレメントは、ポンプ群の排気速度を低下させ、真空度が標準以下になる場合もあります。高細孔フィルタエレメントは、フィルタ材料の細孔径が小さいことを意味するため、ガスがフィルタエレメントを通過しにくくなります。そのため、ポンプ群に使用されるフィルタエレメントは、一般的にステンレス鋼で作られています。

動作条件に微細な不純物が含まれている場合、ろ過の問題をどのように解決すればよいでしょうか?ポリエステル製のフィルターエレメントを使用し、フィルターのサイズを大きくすることをお勧めします。これにより、ろ過面積が増加します。接触面積が大きくなるため、同時にフィルターエレメントを通過できる空気量が増え、ポンプグループのポンプ流量への影響が軽減されます。

この記事を通じて、高精細度フィルターエレメントがポンプグループに適さない理由と、その選択方法を学んだと思います。フィルターポンプグループ用。


投稿日時: 2025年1月10日