LVGE 필터

“LVGE가 여과 걱정을 해결해 드립니다”

필터 OEM/ODM
전 세계 26개 대형 진공 펌프 제조업체용

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반도체 산업에 적용되는 진공 펌프 필터

신흥 첨단 산업, 즉 반도체 산업에 대해 얼마나 알고 계시나요? 반도체산업은 전자정보산업에 속하며 하드웨어 산업의 중요한 구성요소이다. 주로 집적회로, 다이오드, 트랜지스터 등을 포함한 반도체 소자를 생산, 제조합니다. 반도체 생산 공정에도 진공 기술이 활용되므로 진공 펌프와 필터도 필요합니다.

진공 환경은 공기 중의 불순물과 입자가 가공물을 오염시키는 것을 크게 방지할 수 있으며 이는 칩 및 기타 전자 부품의 품질에 중요합니다. 그러나 이러한 입자는 진공 펌프로 흡입되어 손상될 수 있습니다. 이는 장비를 손상시킬 뿐만 아니라 제품 품질에도 영향을 미칩니다. 따라서 진공펌프 필터를 설치해야 합니다(입구 필터) 진공 펌프를 보호하기 위해.

입자의 크기에 따라 적절한 필터 사양을 선택해야 합니다. 여과 정밀도를 의미합니다. 또한, 반도체 제조 공정에서는 식각, 증착 등 다양한 목적으로 다양한 가스가 사용됩니다. 이러한 가스는 부식성이 있을 수 있으므로 부식 방지 필터 매체를 선택하는 것도 필수적입니다. 가스의 부식성이 높지 않고 입자가 상대적으로 작은 경우 폴리에스테르 섬유를 고려할 수 있습니다. 부식성이 높은 경우 스테인레스 스틸 304 또는 스테인레스 스틸 316으로 만든 필터 요소를 고려할 수 있지만 그 정밀도는 상대적으로 낮습니다.

위 사진은 당사가 반도체 제조사의 건식 스크류 진공펌프에 제공하는 흡기 필터를 보여줍니다.LVGE중국에서는 점차 명성을 얻었습니다. 우리는 ULVAC JANPAN과 같은 전 세계 26개 진공 펌프 제조업체와 협력해 왔으며 BYD와 같은 Fortune 500대 기업의 많은 기업에 서비스를 제공해 왔습니다. 우리는 또한 점점 더 많은 산업과 접촉하고 있지만 항상 진공 분야, 특히 진공 펌프 여과 분야에 서비스를 제공하고 있습니다.


게시 시간: 2024년 4월 15일