급성장하고 있는 첨단 기술 산업, 반도체 산업에 대해 얼마나 알고 계신가요? 반도체 산업은 전자 정보 산업에 속하며 하드웨어 산업의 중요한 구성 요소입니다. 주로 집적 회로, 다이오드, 트랜지스터 등 반도체 소자를 생산합니다. 반도체 생산 공정에는 진공 기술이 사용되므로 진공 펌프와 필터도 필요합니다.
진공 환경은 공기 중 불순물과 입자가 작업물을 오염시키는 것을 크게 방지할 수 있으며, 이는 칩 및 기타 전자 부품의 품질에 매우 중요합니다. 그러나 이러한 입자는 진공 펌프로 흡입되어 펌프를 손상시킬 수 있습니다. 이는 장비 손상뿐만 아니라 제품 품질에도 영향을 미칩니다. 따라서 진공 펌프 필터(입구 필터) 진공 펌프를 보호합니다.
입자 크기에 따라 적절한 필터 사양을 선택해야 합니다. 즉, 여과 정밀도를 의미합니다. 또한, 반도체 제조 공정에서는 에칭, 증착 등 다양한 용도로 다양한 가스가 사용됩니다. 이러한 가스는 부식성이 있을 수 있으므로 내식성 필터 매체를 선택하는 것도 필수적입니다. 가스의 부식성이 크지 않고 입자가 비교적 작은 경우 폴리에스터 섬유를 고려할 수 있습니다. 부식성이 높은 경우 스테인리스 스틸 304 또는 스테인리스 스틸 316 재질의 필터 엘리먼트를 고려할 수 있지만, 미세도가 상대적으로 낮습니다.
위의 그림은 반도체 제조업체의 건식 스크류 진공 펌프에 제공되는 흡입 필터를 보여줍니다.엘비지중국에서 점차 명성을 얻고 있습니다. ULVAC JANPAN을 비롯한 전 세계 26개 진공 펌프 제조업체와 협력하고 있으며, BYD를 비롯한 포춘 500대 기업에 제품을 공급하고 있습니다. 또한, 점점 더 다양한 산업과 협력하고 있으며, 특히 진공 펌프 여과 분야를 중심으로 진공 분야를 꾸준히 지원하고 있습니다.
게시 시간: 2024년 4월 15일
