LVGE 필터

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반도체 산업에 적용되는 진공 펌프 필터

급성장하는 신흥 첨단 산업 인 반도체 산업에 대해 얼마나 알고 있습니까? 반도체 산업은 전자 정보 산업에 속하며 하드웨어 산업의 중요한 구성 요소입니다. 주로 통합 회로, 다이오드 및 트랜지스터 등을 포함한 반도체 장치를 생산하고 제조합니다. 반도체의 생산 공정은 진공 기술을 사용하므로 진공 펌프 및 필터도 필요합니다.

진공 환경은 공기 중의 불순물과 입자가 공작물을 오염시키는 것을 크게 방지 할 수 있으며, 이는 칩 및 기타 전자 구성 요소의 품질에 중요합니다. 그러나, 이들 입자는 진공 펌프에 빨려 들어가서 손상 될 수있다. 이것은 장비를 손상시킬뿐만 아니라 제품 품질에도 영향을 미칩니다. 따라서 진공 펌프 필터를 설치해야합니다 (입구 필터) 진공 펌프를 보호합니다.

입자의 크기에 따라 적절한 필터 사양을 선택해야합니다. 섬광을 필터링하는 것을 의미합니다. 또한, 반도체 제조 공정에서, 에칭 및 증착과 같은 다양한 목적으로 다양한 가스가 사용된다. 이 가스는 부식성 일 수 있으므로 부식성 필터 매체를 선택하는 것이 필수적입니다. 가스가 부식성이 높지 않고 입자가 비교적 작다면 폴리 에스테르 섬유를 고려할 수 있습니다. 부식성이 높으면 스테인리스 스틸 304 또는 스테인레스 스틸 (316)으로 만들어진 필터 요소는 고려 될 수 있지만, 이들의 미세는 상대적으로 낮다.

위의 그림은 반도체 제조업체의 마른 나사 진공 펌프를 제공하는 흡기 필터를 보여줍니다.lvge중국에서 점차 명성을 얻었습니다. 우리는 Ulvac Janpan과 같은 전 세계 26 개의 진공 펌프 제조업체와 협력했으며 Byd와 같은 Fortune 500의 많은 회사에서 근무했습니다. 우리는 또한 점점 더 많은 산업과 접촉하고 있지만 항상 진공 장, 특히 진공 펌프 여과에 서비스를 제공합니다.


후 시간 : 4 월 15 일 -20124 년