Что вы знаете о бурно развивающейся отрасли высоких технологий – полупроводниковой промышленности? Полупроводниковая промышленность относится к отрасли электронной информации и является важным компонентом индустрии аппаратного обеспечения. В основном он производит и производит полупроводниковые приборы, в том числе интегральные схемы, диоды и транзисторы и т. д. В процессе производства полупроводников также используется вакуумная технология, поэтому необходимы также вакуумные насосы и фильтры.
Вакуумная среда может в значительной степени предотвратить загрязнение заготовки примесями и частицами из воздуха, что имеет решающее значение для качества чипов и других электронных компонентов. Однако эти частицы могут засосаться в вакуумный насос и затем повредить его. Это не только повреждает оборудование, но и влияет на качество продукции. Поэтому необходимо установить фильтр вакуумного насоса(входной фильтр) для защиты вакуумного насоса.
Нам необходимо выбрать соответствующие характеристики фильтра в зависимости от размера частиц. Это означает тонкость фильтрации. Кроме того, в процессах производства полупроводников различные газы используются для разных целей, таких как травление и осаждение. Эти газы могут быть агрессивными, поэтому важно также выбирать устойчивый к коррозии фильтрующий материал. Если газ не обладает высокой коррозионной активностью и частицы относительно малы, можно рассмотреть возможность использования полиэфирного волокна. Если он обладает высокой коррозионной активностью, можно рассмотреть возможность использования фильтрующих элементов из нержавеющей стали 304 или даже из нержавеющей стали 316, но их тонкость относительно низкая.
На рисунке выше показан всасывающий фильтр, который мы поставляем для суховинтового вакуумного насоса производителя полупроводников.ЛВГЭпостепенно приобрел известность в Китае. Мы сотрудничаем с 26 производителями вакуумных насосов по всему миру, такими как ULVAC JANPAN, и обслуживаем многие компании из списка Fortune 500, такие как BYD. Мы также находимся в контакте со все большим количеством отраслей промышленности, но всегда обслуживаем вакуумную область, особенно фильтрацию вакуумных насосов.
Время публикации: 15 апреля 2024 г.