Насколько вы знаете о бурно развивающейся высокотехнологичной отрасли - полупроводниковой промышленности? Полупроводниковая промышленность относится к электронной информационной промышленности и является важным компонентом аппаратной промышленности. Она в основном производит и изготавливает полупроводниковые приборы, включая интегральные схемы, диоды и транзисторы и т. д. В процессе производства полупроводников также используется вакуумная технология, поэтому также необходимы вакуумные насосы и фильтры.
Вакуумная среда может в значительной степени предотвратить загрязнение заготовки примесями и частицами в воздухе, что имеет решающее значение для качества микросхем и других электронных компонентов. Однако эти частицы могут быть затянуты в вакуумный насос, а затем повреждены. Это не только повреждает оборудование, но и влияет на качество продукции. Поэтому необходимо установить фильтр вакуумного насоса (входной фильтр) для защиты вакуумного насоса.
Нам необходимо выбрать соответствующие характеристики фильтра на основе размера частиц. Это означает тонкость фильтрации. Кроме того, в процессах производства полупроводников используются различные газы для различных целей, таких как травление и осаждение. Эти газы могут быть едкими, поэтому также важно выбрать коррозионно-стойкую фильтрующую среду. Если газ не очень едкий, а частицы относительно малы, можно рассмотреть полиэфирное волокно. Если он очень едкий, можно рассмотреть фильтрующие элементы из нержавеющей стали 304 или даже нержавеющей стали 316, но их тонкость относительно низкая.
На рисунке выше показан впускной фильтр, который мы поставляем для сухого винтового вакуумного насоса производителя полупроводников.ЛВГЕпостепенно приобрел известность в Китае. Мы сотрудничали с 26 производителями вакуумных насосов по всему миру, такими как ULVAC JANPAN, и обслуживали многие компании из списка Fortune 500, такие как BYD. Мы также контактируем со все большим количеством отраслей, но всегда обслуживаем область вакуума, особенно фильтрацию вакуумных насосов.
Время публикации: 15 апреля 2024 г.