Koliko veste o cvetoči nastajajoči visokotehnološki industriji – industriji polprevodnikov? Industrija polprevodnikov spada v industrijo elektronskih informacij in je pomemben sestavni del industrije strojne opreme. V glavnem proizvaja in izdeluje polprevodniške naprave, vključno z integriranimi vezji, diodami in tranzistorji itd. Proizvodni proces polprevodnikov uporablja tudi vakuumsko tehnologijo, zato so potrebne tudi vakuumske črpalke in filtri.
Vakuumsko okolje lahko močno prepreči, da bi nečistoče in delci v zraku onesnažili obdelovanec, kar je ključnega pomena za kakovost čipov in drugih elektronskih komponent. Vendar se lahko ti delci sesajo v vakuumsko črpalko in jo nato poškodujejo. To ne samo poškoduje opremo, ampak tudi vpliva na kakovost izdelka. Zato je treba namestiti filter vakuumske črpalke (vstopni filter) za zaščito vakuumske črpalke.
Izbrati moramo ustrezne specifikacije filtra glede na velikost delcev. Pomeni filtriranje finosti. Poleg tega se v postopkih izdelave polprevodnikov uporabljajo različni plini za različne namene, kot sta jedkanje in nanašanje. Ti plini so lahko korozivni, zato je bistvenega pomena tudi filtrirni medij, odporen proti koroziji. Če plin ni zelo koroziven in so delci razmeroma majhni, je mogoče upoštevati poliestrske vlaknine. Če je zelo jedka, lahko pridejo v poštev filtrirni elementi iz nerjavečega jekla 304 ali celo iz nerjavečega jekla 316, vendar je njihova finost relativno nizka.
Zgornja slika prikazuje sesalni filter, ki ga nudimo za suho vijačno vakuumsko črpalko proizvajalca polprevodnikov.LVGEhas gradually gained fame in China. Sodelovali smo s 26 proizvajalci vakuumskih črpalk po vsem svetu, kot je ULVAC JANPAN, in služili številnim podjetjem s seznama 500, kot je BYD. Prav tako smo v stiku z vedno več industrijami, vendar vedno služimo vakuumskemu področju, zlasti filtraciji z vakuumsko črpalko.
Čas objave: 15. aprila 2024