Koliko veste o cvetoči nastajajoči visokotehnološki industriji - industriji polprevodnikov? Podvoja industrija pripada elektronski informacijski industriji in je pomemben sestavni del strojne industrije. V glavnem proizvaja in izdeluje polprevodniške naprave, vključno z integriranimi vezji, diodami in tranzistorji itd. Proces proizvodnje polprevodnikov uporablja tudi vakuumsko tehnologijo, zato so potrebne tudi vakuumske črpalke in filtre.
Vakuumsko okolje lahko močno prepreči nečistoče in delce v zraku zaradi onesnaževanja obdelovanca, kar je ključnega pomena za kakovost čipov in drugih elektronskih komponent. Vendar se lahko ti delci sesajo v vakuumsko črpalko in jo nato poškodujejo. To ne samo poškoduje opremo, ampak tudi vpliva na kakovost izdelka. Zato je treba namestiti filter vakuumske črpalke (dovodni filter) za zaščito vakuumske črpalke.
Izbrati moramo ustrezne specifikacije filtra glede na velikost delcev. Pomeni filtriranje finosti. Poleg tega se v polprevodniških proizvodnih procesih uporabljajo različni plini za različne namene, kot sta jedkanica in odlaganje. Ti plini so lahko korozivni, zato je bistvenega pomena tudi filtrirni medij, odporen proti koroziji. Če plin ni zelo koroziven in so delci razmeroma majhni, je mogoče upoštevati poliestrske vlaknine. Če je zelo koroziven, je mogoče upoštevati filtrirni elementi iz nerjavečega jekla 304 ali celo iz nerjavečega jekla 316, vendar je njihova finost razmeroma nizka.
Zgornja slika prikazuje sesalni filter, ki ga zagotavljamo za suho vijačno vakuumsko črpalko proizvajalca polprevodnikov.Lvgeje postopoma pridobil slavo na Kitajskem. Sodelovali smo s 26 proizvajalci vakuumskih črpalk po vsem svetu, kot je Ulvac Janpan, in služili številnim podjetjem Fortune 500, kot je BYD. V stiku smo tudi z vedno več panogami, vendar vedno služimo vakuumskemu polju, zlasti filtraciji vakuumske črpalke.
Čas objave: april-15–2024
