Bạn biết bao nhiêu về ngành công nghiệp công nghệ cao mới nổi đang bùng nổ - ngành bán dẫn? Ngành công nghiệp bán dẫn thuộc ngành thông tin điện tử và là một thành phần quan trọng của ngành công nghiệp phần cứng. Nó chủ yếu sản xuất và chế tạo các thiết bị bán dẫn, bao gồm mạch tích hợp, điốt và bóng bán dẫn, v.v. Quá trình sản xuất chất bán dẫn cũng sử dụng công nghệ chân không nên cũng cần có bơm chân không và bộ lọc.
Môi trường chân không có thể ngăn chặn đáng kể các tạp chất và hạt trong không khí làm ô nhiễm phôi, điều này rất quan trọng đối với chất lượng của chip và các linh kiện điện tử khác. Tuy nhiên, những hạt này có thể bị hút vào bơm chân không và sau đó làm hỏng nó. Điều này không chỉ làm hỏng thiết bị mà còn ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Vì vậy cần phải lắp đặt bộ lọc bơm chân không (bộ lọc đầu vào) để bảo vệ bơm chân không.
Chúng ta cần chọn các thông số kỹ thuật của bộ lọc phù hợp dựa trên kích thước của các hạt. Nó có nghĩa là lọc độ mịn. Ngoài ra, trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, nhiều loại khí khác nhau được sử dụng cho các mục đích khác nhau như ăn mòn và lắng đọng. Những loại khí này có thể ăn mòn nên việc chọn môi trường lọc chống ăn mòn cũng rất cần thiết. Nếu khí không có tính ăn mòn cao và các hạt tương đối nhỏ, có thể xem xét sợi polyester. Nếu nó có tính ăn mòn cao, có thể xem xét các phần tử lọc làm bằng thép không gỉ 304 hoặc thậm chí là thép không gỉ 316, nhưng độ mịn của chúng tương đối thấp.
Hình trên cho thấy bộ lọc nạp mà chúng tôi cung cấp cho máy bơm chân không trục vít khô của một nhà sản xuất chất bán dẫn.LVGEđã dần dần nổi tiếng ở Trung Quốc. Chúng tôi đã hợp tác với 26 nhà sản xuất máy bơm chân không trên toàn thế giới như ULVAC JANPAN và phục vụ cho nhiều công ty nằm trong số 500 công ty may mắn, chẳng hạn như BYD. Chúng tôi cũng ngày càng tiếp xúc với nhiều ngành nghề hơn nhưng luôn phục vụ lĩnh vực chân không, đặc biệt là lọc bơm chân không.
Thời gian đăng: 15-04-2024