Bạn biết bao nhiêu về ngành công nghiệp công nghệ cao mới nổi đang bùng nổ - ngành công nghiệp bán dẫn? Ngành công nghiệp bán dẫn thuộc ngành công nghiệp thông tin điện tử và là một thành phần quan trọng của ngành công nghiệp phần cứng. Ngành này chủ yếu sản xuất và chế tạo các thiết bị bán dẫn, bao gồm mạch tích hợp, điốt và bóng bán dẫn, v.v. Quy trình sản xuất chất bán dẫn cũng sử dụng công nghệ chân không, do đó, cũng cần có máy bơm chân không và bộ lọc.
Môi trường chân không có thể ngăn chặn đáng kể các tạp chất và hạt trong không khí làm ô nhiễm phôi, điều này rất quan trọng đối với chất lượng của chip và các linh kiện điện tử khác. Tuy nhiên, các hạt này có thể bị hút vào bơm chân không và sau đó làm hỏng bơm. Điều này không chỉ làm hỏng thiết bị mà còn ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Do đó, cần phải lắp bộ lọc bơm chân không (bộ lọc đầu vào) để bảo vệ máy bơm chân không.
Chúng ta cần lựa chọn thông số kỹ thuật bộ lọc phù hợp dựa trên kích thước của các hạt. Điều đó có nghĩa là độ mịn của bộ lọc. Ngoài ra, trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, nhiều loại khí khác nhau được sử dụng cho các mục đích khác nhau như khắc và lắng đọng. Các loại khí này có thể ăn mòn, vì vậy việc lựa chọn môi trường lọc chống ăn mòn cũng rất cần thiết. Nếu khí không có tính ăn mòn cao và các hạt tương đối nhỏ, có thể cân nhắc đến sợi polyester. Nếu có tính ăn mòn cao, có thể cân nhắc đến các thành phần lọc làm bằng thép không gỉ 304 hoặc thậm chí là thép không gỉ 316, nhưng độ mịn của chúng tương đối thấp.
Hình ảnh trên cho thấy bộ lọc đầu vào mà chúng tôi cung cấp cho máy bơm chân không trục vít khô của một nhà sản xuất chất bán dẫn.LVGEdần dần nổi tiếng tại Trung Quốc. Chúng tôi đã hợp tác với 26 nhà sản xuất máy bơm chân không trên toàn thế giới như ULVAC JANPAN và phục vụ cho nhiều công ty trong danh sách Fortune 500, như BYD. Chúng tôi cũng tiếp xúc với ngày càng nhiều ngành công nghiệp, nhưng luôn phục vụ lĩnh vực chân không, đặc biệt là lọc máy bơm chân không.
Thời gian đăng: 15-04-2024
